真空角阀

应用示例：3C、新能源、半导体

产品特色与优点：

铝制材质产品的特点：
● 均一的烤焙温度   ● 轻量、紧凑   ● 气体溢出少        
● 重金属污染少       ● 耐氟素气体腐蚀性强
●(波纹管密封型)可更换波纹管组件，降低维护成本并减少废弃物。

不锈钢材质产品的特点：

● 阀体材质: SCS13(相当SUS304)

● 没有气体滞留的精密铸造一体构造
● 与铝制高真空L型阀XL系列有互换性的安装(XM系列)